美国实验室正在开发10倍功率效率于CO2 EUV 激光器的 BAT 激光器
美国劳伦斯•利弗莫尔国家实验室正在研发一种 PW 级大孔径铥(BAT)激光技术，据称其效率比 EUV 光刻工具中使用的二氧化碳激光器高 10 倍，并且可以在未来数年内将其取代。这一进步可能为新一代“超越 EUV”光刻系统铺平道路，该系统可以更快地生产芯片，并且功耗更低。与工作波长约为 10 微米的二氧化碳激光器不同， BAT 系统的工作波长约为 2 微米。理论上，当与锡液滴相互作用时，这可以实现更高的等离子体到 EUV 的转换效率。此外，与基于气体的 CO2 装置相比，BAT 系统中使用的二极管泵浦固态技术可以提供更好的整体电气效率和热管理。
—— Tom's Hardware
美国劳伦斯•利弗莫尔国家实验室正在研发一种 PW 级大孔径铥(BAT)激光技术，据称其效率比 EUV 光刻工具中使用的二氧化碳激光器高 10 倍，并且可以在未来数年内将其取代。这一进步可能为新一代“超越 EUV”光刻系统铺平道路，该系统可以更快地生产芯片，并且功耗更低。与工作波长约为 10 微米的二氧化碳激光器不同， BAT 系统的工作波长约为 2 微米。理论上，当与锡液滴相互作用时，这可以实现更高的等离子体到 EUV 的转换效率。此外，与基于气体的 CO2 装置相比，BAT 系统中使用的二极管泵浦固态技术可以提供更好的整体电气效率和热管理。
—— Tom's Hardware
